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智能程控勻膠機 型號:SC-100A

發(fā)布時間: 2021-04-08  點擊次數(shù): 559次

智能程控勻膠機 型號:SC-100A

智能化設(shè)計、配置、穩(wěn)定性機型。
  PC控制系統(tǒng),更好的可操控性可編程設(shè)計。
  5“人機界面,全中文操作系統(tǒng),更方便操作。
  適合多種材料勻膠、制版工藝。  
廣泛應(yīng)用于微電子、光電子、通訊、微機械、材料科學(xué)及新能源等領(lǐng)域
  采用無刷伺服電機,全閉環(huán)數(shù)字編碼器測速機構(gòu),實測整個過程馬達速度。 機身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼、生銹,便于清洗。
  排風和抽氣系統(tǒng)位于載片臺底部 (以利于排風效率和勻膠均一性)。透明可視密封蓋可以在旋涂作業(yè)時*隔光阻的溢出有效隔有味的散發(fā)。
  配有真空泵電源輸出接口與抽氣接口,由界面集中控制。
  旋涂程序:用戶可通過PC界面設(shè)置和存儲工藝參數(shù),可存儲15組參數(shù),支持多段速。
  轉(zhuǎn)動速度:0-5,000rpm
  旋涂加速度:0-5000rpm/sec,加、減速時間可自由設(shè)置(0-20000ms)
  轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度  ±1rpm
  測速精度<0.2rpm
  工藝時間設(shè)定: 0-9,999.9 sec/step 0.1 精度
  可鍍膜尺寸5mm-200mm(8〞)
  旋涂作業(yè)均勻性:< ±3%                                                         
  支持基片厚度≤5mm
  勻膠腔室內(nèi)徑:Ф260mm ,不銹鋼材質(zhì)、可視透明上蓋
  抽氣接口: Ф8mm快速接頭,配Ф8mm透明抽氣管
  樣片托:根據(jù)實際尺寸定制。
  真空泵:配100L/min無油真空泵一臺
  電源輸入: AC220V/240V 50HZ 
  整機功率:630W (真空泵230W  主機400W)
  機身重量:11Kg  
  真空泵重:6.0Kg 
  設(shè)備尺寸:280×360×240mm

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